В 10095 22.3 Б 49 Берлин, Евгений Владимирович. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии [Текст] / Евгений Владимирович Берлин, Лев Александрович Сейдман. - Москва : ТЕХНОСФЕРА, 2010. - 527 с.,[16] цв.ил. : ил. - (МИР материалов и технологий). - Библиогр. в конце гл. - ISBN 978-5-94836-222-9 : (в пер.) : 282 грн. Рубрики: Природничі науки Фізика Плазми (фіз.) Іони Процеси Технології Держатели документа: Миколаївська обласна універсальна наукова бібліотека Доп.точки доступа: Сейдман, Лев Александрович Экземпляры всего: 1 ЗРФ (1) Свободны: ЗРФ (1) |